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產品名稱:半導體設備波紋管
產品說明:半導體設備專用波紋管是芯片精密制程中的核心精密柔性密封與傳動元件,主要分為金屬焊接波紋管與特種高分子波紋管兩大類,嚴格遵循SEMI半導體行業標準生產。產品依托精密沖壓、無痕焊接、超凈精加工工藝成型,可在超高真空、高潔凈、強腐蝕、高低溫交變的嚴苛半導體工況下,實現腔體隔離密封、精密位移傳動、管路形變補償、減震降噪等功能,廣泛適配光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、晶圓清洗等全制程設備,是保障晶圓良率、設備穩定性與制程精度的關鍵零部件。